中国哪所大学有制造光刻机专业（光刻硅片对准曝光）

1、基本上的理科大学都有这个专业，只不过大学不一样，专业知识也不一样。2、光刻机属于一个各学科集成的产品，泛泛而言，设计到光学、机械加工、电子电路、化学等多个学科知识。3、光刻机（MaskAligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻